1、清洗基片:对玻璃或不锈钢等基片进行化学清洗,确保其表面清洁无污染。
2、镀制减反射膜:采用磁控溅射或其他技术,在基片表面镀制一层或多层薄膜,以减少光的反射损失。
3、制造电池窗口层:沉积透明导电膜,如掺氟氧化锡(SnO2:F),作为电池的窗口层,这一步通常采用化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)技术实现。
4、沉积吸收层:这是太阳能电池的核心部分,通常采用薄膜技术如化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)来沉积硅薄膜或其他光吸收材料。
5、制造背电极:在电池背面制备电极,通常采用涂布、印刷等方法实现。
6、制造互联结构:确保电池内部的电流能够顺畅传输到外部电路,通常采用金属化工艺实现。
7、测试和封装:对电池进行测试,确保其性能符合要求,然后进行封装保护。
太阳能镀膜技术是实现薄膜太阳能电池制造的关键技术之一,它主要涉及物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)两种技术,PVD技术包括磁控溅射、电子束蒸发等,主要用于镀制薄膜太阳能电池中的透明导电膜、窗口层和电极等,CVD技术则主要用于沉积硅薄膜等光吸收材料,还有原子层沉积(ALD)、热蒸发等其他镀膜技术也在太阳能电池的制造中得到应用。
具体的工艺步骤和镀膜技术可能会因不同的材料和制造工艺而有所差异,建议咨询专业人士获取更多信息。